大平臺(tái)晶圓檢測(cè)顯微鏡DMM-600C

目鏡

大視野

WF10X(Φ20mm)

WF20X(Φ8.5mm)

平場(chǎng)分劃

10X(0.10mm/格值)

物鏡

平場(chǎng)消色差
（無(wú)蓋玻片）

放大倍數(shù)/數(shù)值孔徑

工作距離

PL5X/0.12

18.3

PLL10X/0.25

8.9

PLL20X/0.40

8.7

PLL40X/0.60（彈簧）

3.7

PL50X/0.70（彈簧）

2.02

放大倍數(shù)

光學(xué)放大:50X-1600X,系統(tǒng)放大倍數(shù):50-2600X

目鏡筒

三目鏡

轉(zhuǎn)軸式，傾斜30度，包括檢偏振片

儀器主體

粗調(diào)、微調(diào)手輪，微調(diào)格值為0.002MM（底座及支架）

偏光裝置

可插入式起偏振片,垂直照明裝置,能進(jìn)行一般金相分析、微粒分析測(cè)試，還能對(duì)不透明物體進(jìn)行分析、觀察。

載物臺(tái)

尺寸：250 X 230mm有快速移動(dòng)裝置，移動(dòng)范圍：153 X 153mm

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

同軸粗微動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu), 微動(dòng)格值2μm,帶鎖緊和限位裝置.

照明系統(tǒng)

落射照明 6V 20W ，鹵素?zé)?，亮度可調(diào)帶起偏振片落射照明 6V 20W ，鹵素?zé)?，亮度可調(diào)

濾片組

藍(lán)、黃、綠、磨砂

轉(zhuǎn)換器

滾珠內(nèi)定位內(nèi)彎,五孔轉(zhuǎn)換

攝像系統(tǒng)

1X攝影接口，標(biāo)準(zhǔn)C接口

300萬(wàn)數(shù)字成像系統(tǒng)，Z高分辨率：2048X1536，采用5V供電，功耗小，連接簡(jiǎn)單：USB2.0  圖像質(zhì)量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定，所有攝像機(jī)均經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試 ,體積小，安裝方便 ,標(biāo)準(zhǔn)鏡頭接口